更新时间:2023-05-08 10:20:20
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满足新生产工艺的具备自动、洁净、防爆功能的起重机。使用环境为半导体材料车间,无尘化设计,空气清洁度等级为4级(国标7级)(即每立方米内0.1μm大小的颗粒物不大于10000个)。同时该车间内存在易燃易爆气体,起重机防爆等级dIICT4。采用中控室计算机自动控制,可将还原炉和硅棒工具从还原炉平台、清洗平台、中转平台、拆棒工具等位置之间根据设定工作路线自动运行。
无尘室起重机采用轻量化、免维护设计,同时大量应用防静电、耐磨耐腐蚀材料,车轮采用不锈钢材料,轨道两侧设不锈钢槽,减速器采用全封闭、高密封绝无渗漏油污染,高防护等级无风扇防爆电机,双密封制动器能有效防止电机内因传动磨损产生污染颗粒外泄。大车车轮组全封闭设计,不锈钢车轮,表面高防锈处理的其他零部件可以有效防止金属材料锈蚀污染,自润滑全密封轴承避免润滑污染。大、小车运行机构采用激光条码定位,小车激光条码定位阅读器安装在小车上,条码带安装在大车主梁腹板上。大车定位激光定位阅读器安装在端梁上,条码带安装在收集粉屑的U型槽上。
洁净室行车控制具有两种运行模式:
1、自动运行模式:现场工作人员需要起吊作业时,通过防爆遥控器操纵在现场将吊具手动挂钩,完成后通过防爆遥控器选择相应的功能,完成后通过声光报警提示开始运行。运行关键点由现场操作人员用防爆遥控器确认后,起重机按照预先设定的路径自动地到达目标位置正上方,起吊还原炉或卸棒工具的动作,动作完成之后,报警并提示动作已完成。在运行的过程中,如发现问题可选择暂停,待问题排除之后,按就继续按钮即可继续执行。在出现紧急故障时,可通过选择遥控器的急停按钮紧急停止设备的运行,避免出现故障。/2、手动运行模式: 将防爆控制柜的选择开关旋转至“手动”控制模式,现场工作人员可以通过防爆按钮现场操作起重机进行手动操作,控制各个机构的手动运行。遥控控制和手柄控制之间互锁,同时只能采用一种控制方式。
芯片厂百级无尘室龙门架,符合ISO Class 5标准,微米级高精度定位,防静电防微尘、运行平稳无振动,为晶圆等精密物料提供洁净高效的智能升降转运方案,支持非标定制。
化合物半导体晶圆厂洁净室天车,是专为碳化硅、氮化镓等第三代半导体材料制造环境设计的自动化物料搬运系统(AMHS)核心设备,主要用于对晶圆前开式传送盒(FOUP)、光罩盒等精密物料进行自动化搬运,保障生产过程的洁净度、精度与生产效率。
轨道小车行走轮箱是轨道式自动化设备的核心行走部件,其将行走轮、轴承、传动装置等部件集成于封闭或半封闭式箱体中,为堆垛机、RGV 穿梭车、轨道搬运车等设备提供稳定、精准的移动支撑。
在航天航空领域,洁净室起重机(又称无尘起重机)发挥着至关重要的作用。这类设备专为满足高洁净度、高精度、高可靠性的生产与装配环境要求而设计,广泛应用于卫星、火箭、飞机等精密部件的制造、测试及总装环节。
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